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各章摘要

1 濺射沉積TiNi基薄膜的綜述

摘要

1.1 引

1.2 制備和表征手段

1.2.1 薄膜沉積

1.2.2 TiNi薄膜的表征

1.2.3 TiNiX三元合金薄膜

1.2.4 殘余應力與應力演化

1.2.5 響應頻率

1.2.6 附著與界面分析

1.2.7 穩定性、衰減及疲勞特性

1.2.8 膜厚的影響

1.2.9 溫度記憶效應

1.2.10 納米尺度上力學性能評價

1.2.11 功能梯度薄膜和復合TiNi基薄膜

1.3 TiNi薄膜在微機電系統中的應用

1.3.1 各種微驅動機制的比較

1.3.2 TiNi薄膜微驅動器的建模和優化設計

1.3.3 基于雙程形狀記憶效應的獨立式微驅動器

1.3.4 TiNi隔膜、微泵與微

1.3.5 微夾鉗

1.3.6 微型傳感器、微型開關和微型繼電器

1.3.7 其他應用

1.4 小結

參考文獻

2 TiNi合金中的馬氏體相變

摘要

2.1 引

2.2 TiNi相圖

2.3 馬氏體相變晶體學

2.4 相變應變

2.5 相變溫度

2.6 基于馬氏體相變的形狀記憶效應和超彈性

2.7 變形行為

2.8 小結

參考文獻

3 TiNi薄膜的沉積技術

摘要

3.1 TiNi薄膜的制備簡介

3.2 濺射沉積

3.3 濺射工藝

3.4 利用電阻率和應力-應變測量對薄膜特性的表征

3.5 薄膜的連接方法

3.5.1 電阻焊接

3.5.2 激光焊接

3.5.3 超聲焊接

3.6 TiNi薄膜和微機電系統工藝

3.6.1 熱處理

3.6.2 TiNi薄膜的圖案化

3.6.3 犧牲層

3.7 微型驅動器的制造

3.7.1 提升閥驅動器

3.7.2 彎曲梁驅動器

3.8 血管內醫療器械的制造

3.8.1 三維基體上的平面濺射

3.8.2多層法濺射

3.9 TiNi薄膜的相關文獻

3.10 小結

致謝

參考文獻

4 TiNi多層薄膜

摘要

4.1 引

4.2 多層TiNi薄膜的制備

……

5 晶化與微觀組織演化

6 TiNi薄膜的力學性能

7 應力和表面形貌演化

8 離子注入處理及其相關輻照效應

9 激光后退火工藝及理論

10 形狀記憶合金薄膜應用概述

11 微驅動器和微泵用形狀記憶合金薄膜的理論研究

12 二元與三元薄膜隔膜微驅動器

13 TiNi薄膜器件

14 形狀記憶微

15 超彈性薄膜及其在醫療器械中的應用

16 濺射沉積TiNi超彈性微管的制備和表征

17 形狀記憶薄膜微籠及其生物醫學應用

18 形狀記憶薄膜復合微驅動器

19 TiNi薄膜形狀記憶合金在光傳感方面的應用