微機電系統和微結構及其在航天中的應用
微機電系統和微結構及其在航天中的應用》共16章，主要內容包括：概論，微機電系統技術在航天任務中的應用前景，MEMS加工技術，空間環境因素對MEMS技術的影響，空間輻射影響和微機電系統，MEMS技術在空間系統的應用...
微機電系統和微結構及其在航天中的應用》共16章，主要內容包括：概論，微機電系統技術在航天任務中的應用前景，MEMS加工技術，空間環境因素對MEMS技術的影響，空間輻射影響和微機電系統，MEMS技術在空間系統的應用，微加工技術在科學儀器方面的應用，微機電系統在航天器通信中的應用，航天器熱控制中的微系統，航天器制導、導航和控制中的微系統，微推進技術，空間應用的MEMS封裝技術，關鍵性空間應用的處理與污染控制考慮，MEMS應用的材料選擇，基于空間的MEMS設計和應用的性測試，航天微機電系統與微結構的保障方法等。
微機電系統和微結構及其在航天中的應用》適合航天、航空和MEMS技術領域的設計師、工程師、管理者和高校院所的相關學科的科研人員、高年級本科生、研究生和相關科技人員閱讀。
羅伯特奧西安德(Robert Osiander)，在1991年獲得德國慕尼黑工業大學的博士學位。之后他曾在JHU/APL研究所及技術開發中心工作，并在2003年成為傳感器科技項目組的助理主管，2004年成為核心的專業成員之一。Osiander博士目前的研究方向包括微機電系統(MEMS)、納米技術、太赫茲成像和傳感器、通信、熱控和空間技術。他是美國宇航局2005年推出的新千年空間技術任務之一"航天器散熱控制MEMS百葉窗"的主要研究者。Osiander博士還制定了一項開發碳納米管(CNT)為基礎的熱控涂層的研究計劃。
M.安加里森達林(M.Ann Garrison Barrin)，一個核心的專業工作人員，也是美國約翰霍普金斯大學應用物理實驗室的研究和技術開發中心的項目經理。她在政府部門(美國航天局、國防部)和關于空間飛行任務的技術發展、應用、運輸的民營企業方面有著超過20年的經驗。她擁有技術管理方面的理科碩士學位，撰寫了數篇關于技術插入的文章，并帶有多項專利。Darrin女士從1993年到1998年是美國宇航局戈達德空間飛行中心電子元器件、包裝與材料科學學院的院長。她在航天工程管理、微電子和半導體、包裝以及先進小型化方面有著廣泛的背景。Darrin女士是中大西洋MEMS聯盟的聯合主席。
羅伯特奧西安德(Robert Osiander)，在1991年獲得德國慕尼黑工業大學的博士學位。之后他曾在JHU/APL研究所及技術開發中心工作，并在2003年成為傳感器科技項目組的助理主管，2004年成為核心的專業成員之一。Osiander博士目前的研究方向包括微機電系統(MEMS)、納米技術、太赫茲成像和傳感器、通信、熱控和空間技術。他是美國宇航局2005年推出的新千年空間技術任務之一"航天器散熱控制MEMS百葉窗"的主要研究者。Osiander博士還制定了一項開發碳納米管(CNT)為基礎的熱控涂層的研究計劃。
M.安加里森達林(M.Ann Garrison Barrin)，一個核心的專業工作人員，也是美國約翰霍普金斯大學應用物理實驗室的研究和技術開發中心的項目經理。她在政府部門(美國航天局、國防部)和關于空間飛行任務的技術發展、應用、運輸的民營企業方面有著超過20年的經驗。她擁有技術管理方面的理科碩士學位，撰寫了數篇關于技術插入的文章，并帶有多項專利。Darrin女士從1993年到1998年是美國宇航局戈達德空間飛行中心電子元器件、包裝與材料科學學院的院長。她在航天工程管理、微電子和半導體、包裝以及先進小型化方面有著廣泛的背景。Darrin女士是中大西洋MEMS聯盟的聯合主席。
約翰L.錢皮恩(John L.Champion)，美國約翰霍普金斯大學應用物理實驗室(JHU/APL)研究和技術開發中心(RTDC)的一個項目經理。他在1996年獲得美國約翰霍普金斯大學材料科學系博士學位。Champion博士研究的方向包括用于防御和空間應用的MEMS系統的設計、制造和鑒定。他參與了JHU/APL洛倫茲力式磁強計的研究和基于MEMS技術的航天器熱控制的可變反射的概念設計。這項和美國宇航局戈達德空間飛行中心的合作被選為新千年計劃空間技術5(ST5)的三個微型衛星之一的示范技術。Champion博士的研究為探討層狀結構的熱致變形。他已經在該領域出版和發表了數篇文章。
第1章 概論
1.1 概述
1.2 背景和意義
1.3 航天用的MEMS器件
1.3.1 數字微型推進項目STS-93
1.3.2 皮衛星任務
1.3.3 天蝎座亞軌道示范
1.3.4 基于MEMS的微型衛星偵察器系列
1.3.5 導彈和軍火-慣性測量單元
1.3.6 蛋白石、藍寶石和綠寶石
1.3.7 國際案例
1.4 微機電系統和微結構在航天中的應用
1.4.1 對MEMS的理解和MEMS的展望
1.4.2 航天系統和儀器中的MEMS
1.4.3 衛星分系統中MEMS
1.4.4 MEMS技術航天領域應用的插入點
1.5 小結
參考文獻
第2章 MEMS技術在航天任務中的應用前景
2.1 引
2.2 適用于航天任務的MEMS技術的近期研制狀況
2.2.1 NMPST5熱控百葉窗
2.2.2 JWST微型快門陣列
2.2.3 尺蠖微型制動器
2.2.4 NMPST6慣性恒星相機
2.2.5 微型推進器
2.2.6 航天MEMS器件研制的其他實例
2.3 MEMS技術在航天中的潛在應用
2.3.1 基于MEMS技術的飛行器元器件清單
2.3.2 低成本微型衛星
2.3.3 科學儀器和傳感器
2.3.4 探索應用
2.3.5 太空粒子和變異體
2.4 挑戰和未來的需求
2.4.1 挑戰
2.4.2 未來的需求
2.5 小結
參考文獻
第3章 MEMS加工
3.1 引
3.2 MEMS加工技術
3.3 LIGA
3.4 體硅微加工工藝
3.4.1 濕法刻
3.4.2 等離子刻
3.5 犧牲層表面微加工工藝
3.5.1 圣地亞超平多層MEMS技術
3.6 集成電路和MEMS技術集成
3.7 其他MEMS材料
3.7.1 碳化硅
3.7.2 硅-鍺合金
3.7.3 金剛石
3.7.4 SU-8
3.8 小結
參考文獻
第4章 空間環境因素對微納米技術的影響
4.1 引
4.2 機械、化學和電效應
4.2.1 熱機械效應
4.2.2 沖擊、加速度以及振動的機械效應
4.2.3 化學效應
4.2.4 電效應
4.3 針對任務運行環境進行設計
4.4 空間特殊任務的環境影響
4.5 小結
4.6 所參考的軍用規范和標準
參考文獻
第5章 空間輻射影響和微機電系統
第6章 微納米技術在空間系統的應用
第7章 微加工技術在科學儀器方面的應用
第8章 微機電系統在航天器通信中的應用
第9章 航天器熱控制中的微系統
第10章 航天器制導、導航和控制中的微系統
第11章 微推進技術
第12章 空間應用的MEMS封裝技術
第13章 關鍵性空間應用的處理與污染控制的考慮
第14章 MEMS應用的材料選擇
第15章 基于空間的MEMS設計和應用的性測試
第16章 航天微機電系統與微結構的保障方法
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