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內容簡介

《微納米加工技術及其應用(第3版)》集作者崔錚多年來的實踐經驗與研究成果，并結合近年來國際上的發展，綜合介紹了微納米加工技術的基礎，包括光學曝光技術、電子束曝光技術、聚焦離子束加工技術、掃描探針加工技術、微納米尺度的復制技術、各種沉積法與刻蝕法圖形轉移技術、間接納米加工技術與自組裝納米加工技術。對各種加工技術的介紹著重講清原理，列舉基本的丁藝步驟，說明各種工藝條件的由來，并注意給出典型的工藝參數；充分分析了各種技術的優缺點及在應用過程中的注意事項；以大量圖表與實例說明各種加工方法，避免煩瑣的數學分析；并以專門一章介紹了微納米加工技術在現代高新技術領域的應用，演示了如何靈活應用微納米加工技術來推動這些領域的技術進步。

與國內外同類出版物相比，《微納米加工技術及其應用(第3版)》的顯著特點是將用于超大規模集成電路生產、微機電系統制造與納米技術研究的微納米加工技術進行綜合介紹，并加以比較；首次將微納米加工歸納為平面工藝、探針工藝和模型工藝3種主要類型，突出了微納米加工與傳統加工技術的不同之處。

全書既注重基礎知識又兼顧微納米加工領域近年來的進展，并列舉了大量參考文獻與互聯網鏈接網址，供讀者進一步發掘詳細信息與深入研究，因此不論是對初次涉足這一領域的大專院校的本科生或研究生，還是對已經有一定工作經驗的專業科技人員，都具有很好的參考價值。

編輯推薦

崔錚編寫的《微納米加工技術及其應用(第3版)》是一本介紹微納米加工技術基礎與國外發展的讀物。全書共分11章，內容包括：光學曝光技術，電子束曝光技術，聚焦離子束加工技術，掃描探針加工技術，復制技術，沉積法圖形轉移技術，刻蝕法圖形轉移技術，間接納米加工技術，自組裝納米加工技術，微納米加工技術的應用等。

作者簡介

東南大學(原南京工學院)本科畢業(1981)，并獲該校碩士(1984)和博士(1988)學位。11989年受英國國家科學與工程研究委員會訪問研究基金資助(SERCVisitingFellowship)，到英國劍橋大學微電子研究中心做博士后研究。1993年到英國盧瑟福國家實驗室微結構中心做高級研究員，1999年以來任微納米技術首席科學家(PrincipalScientist)，曾任微系統技術中心負責人，現負責微納米技術的工程應用(GroupLeader)。十多年來先后參加了8項歐洲共同體聯合研究項目，并擔任其中兩個項目的主持人。任歐洲微機電/微光機電設計、測試、集成與封裝年會的程序委員會委員，國際微納光刻、微機電與微光機電系統雜志(Journalof Micro/Nanolithography，MEMS andMOEMS)編委，歐洲第七框架研究計劃納米技術分計劃的評審專家，英國國家科研項目評審專家，并應邀為多種學術雜志評審論文；英國物理學會會員，英國工程技術學會(IET)博學會員(Fellow)。1994年以來開始與國內開展合作，先后受聘為國內多家科研單位與大學的客座研究員、客座教授。先后4次受王寬誠科研獎金資助回國進行合作研究與講學。2001年以來，先后主持了兩項由英國皇家學會資助的中一英聯合研究項目。2002年受聘為中國科學院海外評審專家。2004年獲中國科學院海外杰出學者(B類)基金。2007年參加中國科學院物理研究所納米電子材料與器件海外合作團隊。先后獨立與合作發表學術論文190余篇。2005年出版中文專著《微納米加工技術及其應用》(高等教育出版社)，2006年出版該書的英文版《Micro-NanofabricationTechnologies andApplications》，2008年出版英文專著《Nanofabrication：Principles，Capabilitiesand Limits》(Springer)。